Generador de plasma ionizado

Arc reaktor funktionsweise

Este trabajo presenta el desarrollo de una fuente electrónica de potencia de alto voltaje y alta frecuencia, para la generación de plasma, a presión atmosférica y vacío, utilizando helio y aire como gases de trabajo. El diseño de la fuente consiste en un inversor resonante en serie de puente completo inductivo (L) a alta frecuencia, donde el control implementado permite variar el ciclo de trabajo y la frecuencia. La generación de plasma se realiza mediante alto voltaje con la señal de potencia aplicada sobre dos electrodos, lo que proporciona un fuerte campo eléctrico que excita, y por tanto, ioniza partículas de helio o partículas de aire. El funcionamiento de la fuente electrónica de potencia se probó en diferentes configuraciones de reactores de plasma (descarga de barrera dieléctrica, descarga de doble barrera dieléctrica y descarga de tipo chorro). La fuente electrónica de potencia desarrollada muestra un correcto funcionamiento y genera un fuerte campo eléctrico para conseguir las descargas de plasma deseadas.

El plasma es conocido como el cuarto estado de la materia, es un gas ionizado que contiene partículas de carga eléctrica (radicales, iones, electrones, átomos neutros, moléculas y otras especies excitantes en una relación de concentración cuya descarga eléctrica total global es igual a cero), que mantienen interacciones energéticas colectivas simultáneamente. Estas interacciones hacen que el plasma sea altamente reactivo y pueda ser utilizado en amplias aplicaciones mediante el tratamiento de sus parámetros de control. Comúnmente, de acuerdo con su temperatura, el plasma se clasifica en dos grupos principales: plasma frío y plasma térmico (Tendero et al., 2006; Hnautic et al., 2012).

Canal de plasma

AbstractBased on laser Thomson scattering (TS) measurements and finite element method (FEM) simulations of electron density in inductively coupled plasma (ICP), the simulated local pressure calibration curves of ICP generator are obtained by comparing the experimental and simulated electron density distributions and maxima. Los coeficientes de ecuación del modelo teórico asociado al sistema experimental del generador ICP pueden obtenerse ajustando la curva de simulación con el método de mínimos cuadrados, y pueden obtenerse además las curvas teóricas de calibración de presión bajo diferentes potencias absorbidas. Combinadas con las mediciones del vacuómetro, tanto las curvas de calibración de presión simuladas como las teóricas pueden dar la verdadera presión local en el plasma. Los resultados de la calibración de la presión local en las diferentes potencias absorbidas muestran que el gradiente de densidad desde el sensor del vacuómetro hasta el centro de la bobina en la cavidad del generador ICP se hace más grande con el aumento de la densidad de electrones, lo que resulta en una mayor brecha entre el valor medido y el valor de calibración de la presión. Este método de calibración ayuda a comprender la presión local de ICP como un factor de control externo y ayuda a estudiar el mecanismo físico-químico de ICP con el fin de lograr un mayor rendimiento en el grabado ICP, modificación de materiales, etc.

Reactor de arco real

La presente invención se refiere a un generador de plasma que genera un plasma con un proceso de ionización de múltiples pasos. The plasma generator includes an excited atom source that generates excited atoms from ground state atoms supplied by a feed gas source. Una cámara de plasma confina un volumen de átomos excitados generados por la fuente de átomos excitados. Una fuente de energía está acoplada al volumen de átomos excitados confinados por la cámara de plasma. La fuente de energía eleva la energía de los átomos excitados en el volumen de átomos excitados de manera que al menos una porción de los átomos excitados en el volumen de átomos excitados se ioniza, generando así un plasma con un proceso de ionización de múltiples pasos.

El plasma se considera el cuarto estado de la materia. Un plasma es una colección de partículas cargadas que se mueven en direcciones aleatorias. Un plasma es, en promedio, eléctricamente neutro. Un método para generar un plasma consiste en hacer pasar una corriente a través de un gas a baja presión entre dos electrodos conductores colocados en paralelo. Una vez que se cumplen ciertos parámetros, el gas se “descompone” para formar el plasma. Por ejemplo, se puede generar un plasma aplicando un potencial de varios kilovoltios entre dos electrodos conductores paralelos en una atmósfera de gas inerte (por ejemplo, argón) a una presión comprendida entre 10-1 y 10-2 Torr.

Plasma popper

Esta patente describe un aparato para producir una descarga de gas ionizado eléctricamente neutro, denominado plasma, sustancialmente libre de contaminación con partículas de gas neutro. El generador de plasma de la presente invención comprende una cámara de plasma en la que el gas introducido en la cámara es ionizado por una fuente de radiofrecuencia. Un campo magnético se utiliza para enfocar el plasma en línea con una salida. Este campo magnético coopera con una presión diferencial creada a través de la salida para extraer un plasma uniforme y no contaminado de la cámara de plasma.

abstractNote = {Esta patente describe un aparato para producir una descarga de gas ionizado neutro eléctrico, denominado plasma, sustancialmente libre de contaminación con partículas de gas neutro. El generador de plasma de la presente invención comprende una cámara de plasma en la que el gas introducido en la cámara es ionizado por una fuente de radiofrecuencia. Un campo magnético se utiliza para enfocar el plasma en línea con una salida. Este campo magnético coopera con una presión diferencial creada a través de la salida para extraer un plasma uniforme y no contaminado de la cámara de plasma,}